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摇身一变!揭秘CPU制造全过程 (3)

http://sc.sina.com.cn   2009年07月10日08:15   PCPOP

  CPU制造:第五阶段图文直播:


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  光刻胶再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。

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  离子注入(Ion Implantation)在真空系统中,用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。

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  清除光刻胶离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。

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第五阶段合影步骤图

  CPU制造:第六阶段图文直播:

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  晶体管就绪至此,晶体管已经基本完成。在绝缘材(品红色)上蚀刻出个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。

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  电镀在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。

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  铜层电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。

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第六阶段合影步骤图


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